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福樂FLUORO福樂真空吸筆C002-D-X/C002-D-Y
一、測試環(huán)境控制
1.無塵環(huán)境
●測試需在ISO5級以上潔凈室進行,避免微粒影響吸嘴密封性。
●導電型號(如90-C)需確保接地電阻≤10Q,防止靜電干擾。
2.溫濕度要求
●環(huán)境溫度應控制在20±2°C,濕度≤40%RH,避免橡膠吸嘴變形。
二、設(shè)備校準與操作
1.真空泵驗證
●測試前需校準真空泵輸出壓力(如FV-10C002-D-Y-161型號需穩(wěn)定在-0.1MPa)。
●使用真空度計檢測時,需確保傳感器精度≤±1%FS。
2.吸附力測試方法
●垂直拉力測試需采用標準砝碼(如4英寸晶圓需≥0.8kgf)。
●水平測試時需考慮摩擦系數(shù),安全系數(shù)建議≥2.05。
