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FLUORO福樂C003-Y真空吸筆C002-D-X-103

安全與維護(hù)

1. 泄漏檢查

●采用水中氣泡法檢測(cè)時(shí)，單個(gè)氣泡可忽略，連續(xù)氣泡需立即處理。

●防酸系列（如F002-X-02-PK）測(cè)試后需用氮?dú)獯蹈伞?/p>

2.吸嘴保護(hù)

●禁止使用金屬工具接觸吸嘴，避免劃傷PEEK材質(zhì)。

●測(cè)試后需用異丙醇清潔吸嘴，防止化學(xué)殘留。

設(shè)備校準(zhǔn)與操作

1.真空泵驗(yàn)證

●測(cè)試前需校準(zhǔn)真空泵輸出壓力（如FV-10C002-D-Y-161型號(hào)需穩(wěn)定在-0.1MPa）。

●使用真空度計(jì)檢測(cè)時(shí)，需確保傳感器精度≤±1%FS。

2.吸附力測(cè)試方法

●垂直拉力測(cè)試需采用標(biāo)準(zhǔn)砝碼（如4英寸晶圓需≥0.8kgf）。

●水平測(cè)試時(shí)需考慮摩擦系數(shù)，安全系數(shù)建議≥2.05。