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FLUORO福樂FV-30小型無油隔膜真空泵-半導(dǎo)體制造
FLUORO FV - 30 的結(jié)構(gòu)與工藝設(shè)計(jì)圍繞真空穩(wěn)定性、潔凈性和耐用性三大核心目標(biāo),多項(xiàng)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)保障其長(zhǎng)期可靠運(yùn)行:
無油隔膜真空結(jié)構(gòu):該真空泵采用兩段式壓力降低機(jī)構(gòu),通過在封閉空間內(nèi)安裝隔膜,利用電磁驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)壓力分段遞減。這種無油隔膜設(shè)計(jì)避免了傳統(tǒng)油泵因潤(rùn)滑油泄漏導(dǎo)致的污染問題,同時(shí)電磁驅(qū)動(dòng)減少了機(jī)械接觸磨損,為設(shè)備超長(zhǎng)使用壽命奠定基礎(chǔ)。
雙向 HEPA 過濾系統(tǒng):設(shè)備的進(jìn)氣段和排氣段均內(nèi)置 HEPA 過濾器,可高效攔截 0.3 微米及以上顆粒,過濾效率達(dá) 99.97%。且主機(jī)設(shè)有透明觀察窗口,操作人員可直觀查看過濾器污染狀況,及時(shí)更換耗材,該設(shè)計(jì)使其能滿足潔凈室的使用標(biāo)準(zhǔn)。
防靜電與密封結(jié)構(gòu):機(jī)身采用尼龍材質(zhì),搭配防靜電管路配件,可有效避免靜電積累,適配半導(dǎo)體等對(duì)靜電敏感的作業(yè)場(chǎng)景。同時(shí)整機(jī)采用密封式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),不僅強(qiáng)化了真空密封性,還為設(shè)備的低噪音運(yùn)行提供了結(jié)構(gòu)支撐。
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